拋光液

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SAPOL系列拋光液


產(chǎn)品性能：
? 顆粒分散性好，不易產(chǎn)生劃傷
? 磨料和活性添加劑的相互配合，獲得高質(zhì)量的拋光表面
? 優(yōu)異的拋光效率，即使在高稀釋比的情況下使用，仍能獲得較高的去除速率
? 較長的使用壽命
產(chǎn)品分類：
? 氧化硅拋光液
? 氧化鋁拋光液

SAPOL拋光液

型號

外觀

粒徑, nm

pH

粘度, cps

比重, g/ml

磨粒

性能特點(diǎn)

應(yīng)用

SAPOL-110

乳白色液體

90-120

10-10.5

1-10

1.27-1.30

氧化硅

粒徑分布窄,拋光后表面粗糙度低

非金屬材料通用

SAPOL-111

乳白色液體

90-120

10-10.5

1-10

1.27-1.30

氧化硅

粒度分布寬，拋光速率高，根據(jù)客戶條件不同，選擇不同型號

C向藍(lán)寶石，鉬片

SAPOL-112

乳白色液體

90-120

10-10.5

1-10

1.27-1.30

氧化硅

SAPOL-113

乳白色液體

90-110

10-10.5

1-10

1.27-1.30

氧化硅

SAPOL-114

乳白色液體

90-110

10-10.5

1-10

1.27-1.30

氧化硅

拋光速率高

A向藍(lán)寶石

SAPOL-115

乳白色液體

90-110

10-10.5

1-10

1.27-1.30

氧化硅

通用性好

A&C向藍(lán)寶石

SAPOL-211

白色液體, 分層

1.3-1.7

13.0-13.5

20-50

1.19-1.21

氧化鋁

拋光速率高

C向藍(lán)寶石，單拋

SAPOL-212

白色液體, 分層

0.6-1.2

13.0-13.5

20-50

1.19-1.21

氧化鋁

粒徑小

SAPOL-213

白色液體

0.6-0.8

>13.5

100-500

1.19-1.21

氧化鋁

懸浮性佳

C向藍(lán)寶石，雙拋

SAPOL-121

乳白色液體

90-110

10-10.5

1-10

1.27-1.30

氧化硅

拋光速率高

陶瓷

SAPOL-321

白色液體

0.6-1.2

13.0-13.5

20-50

1.19-1.21

氧化鈰

懸浮性佳

玻璃

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SIPOL系列拋光液


產(chǎn)品性能：
? 顆粒粒徑分布適中，去除速率可達(dá)0.8-1um/min
? 產(chǎn)品循環(huán)壽命長，去除速率穩(wěn)定
? 拋光過程中不易產(chǎn)生結(jié)晶，
? 金屬離子含量低，滿足不同硅片使用要求

SIPOL拋光液

型號

外觀

粒徑, nm

pH

粘度, cps

比重, g/ml

性能特點(diǎn)

應(yīng)用

SIPOL-141

乳白色液體

60-110

11.1-12.1

1.0-10.0

1.20-1.25

稀釋比高，壽命長


硅片粗拋


SIPOL-142

半透明液體

12-17

11.1-12.1

1.0-10.0

1.20-1.25

SIPOL-143

乳白色液體

60-110

8.0-10.0

1.0-10.0

1.15-1.30

拋光性能佳

鍺片


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COPOL系列拋光液


產(chǎn)品性能：
? 少劃傷，采用氧化鋁和混合磨料兩種體系，可定制酸性或堿性液
? 去除速率高，拋光缺陷少，良品率高
? 存儲周期長，采用AB體系穩(wěn)定性好
產(chǎn)品分類：
? 氧化鋁拋光液
? 氧化硅拋光液
? 氧化錳拋光液

COPOL拋光液

型號

外觀

粒徑, nm

pH

粘度, cps

比重, g/ml

性能特點(diǎn)

應(yīng)用

COPOL-130

紫紅色液體

0.08-0.12

8.0-9.0

1-10

1.02-1.05

氧化硅

精拋表面質(zhì)量好

COPOL-231


A液

白色液體

0.3-0.7

8.5±0.5

(混合液)


1-10

1.03-1.07

氧化鋁

產(chǎn)品穩(wěn)定性好，

表面劃傷少，

適合粗拋和中拋


B液

紫紅色液體

-

1-10

1.00-1.04

NA

COPOL-234


A液

白色液體

0.3-0.7

2.1±0.5

(混合液)


1-10

1.03-1.07

氧化鋁

酸性體系


B液

紫紅色液體

-

1-10

1.00-1.04

NA

COPOL-431


A液

黑色液體

0.3-1.0

4.5±0.5

(混合液)


1-10

1.03-1.07

氧化錳

去除速率快


B液

紫紅色液體

-

1-10

1.00-1.03

NA

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MEPOL系列拋光液


產(chǎn)品性能：
? 顆粒分布窄，能有效去除機(jī)械加工痕和粗拋痕
? 良好的阻蝕整平效果，溫和化學(xué)作用
? 易清洗，避免拋光液殘留產(chǎn)生腐蝕
? 優(yōu)異的拋光效率
? 較長的使用壽命
產(chǎn)品分類：
? 氧化鋁拋光液
? 氧化硅拋光液

MEPOL拋光液

型號

外觀

粒徑, nm

pH

粘度, cps

比重, g/ml

磨粒

性能特點(diǎn)

應(yīng)用

MEPOL-201

白色液體, 分層

4-7

4-5

100-500

1.2-1.25

氧化鋁

速率高

不銹鋼粗拋，中拋

MEPOL-202

白色液體, 分層

0.8-1.2

3-4

10-40

1.27-1.30

氧化鋁

分散好，稀釋比高

不銹鋼中拋，精拋

MEPOL-203

白色液體, 分層

0.8-1.0

4-5

1-10

1.05-1.10

氧化鋁

表面質(zhì)量佳

不銹鋼五軸機(jī)精拋

MEPOL-101

乳白色液體

0.1-0.11

4-5

1-10

1.05-1.15

氧化硅

混合磨料，懸浮佳

MEPOL-102

乳白色液體

0.10-0.12

10-10.5

1-10

1.20-1.29

氧化硅

含雙氧水，

鏡面效果佳

不銹鋼精拋

MEPOL-103

乳白色液體

0.10-0.12

10-10.5

1-10

1.20-1.29

氧化硅

拋光速率高

MEPOL-204

白色液體, 分層

2-4

2-3

20-50

1.05-1.15

氧化鋁

速率高

鋁合金粗拋

MEPOL-104

乳白色液體

0.10-0.12

10-10.5

1-10

1.27-1.30

氧化硅

無橘皮麻點(diǎn)

鋁合金精拋

MEPOL-105

乳白色液體

0.10-0.12

10-10.5

1-10

1.20-1.25

氧化硅

結(jié)晶慢

鋁合金精拋