拋光墊
拋光墊
聚氨酯拋光墊
聚氨酯拋光墊是耐用性能較高的拋光墊，聚氨酯預(yù)聚物、硬化劑和發(fā)泡劑按混合后，注入定型容器中做成塊狀，然后通過切片機加工成最終片狀拋光墊。
通常被使用于要求高平坦性的拋光工序。
應(yīng)用領(lǐng)域：
LCD用玻璃基板，玻璃圓盤，光學(xué)鏡片等材料CMP。
定制服務(wù)：
硬度、尺寸、溝槽等可按需求定制。
聚氨酯拋光墊 | |||||||||
型號 | 密度g/cm3 | 壓縮率% | 壓縮彈性率% | 硬度邵氏A | 填料 | 性能特點 | 應(yīng)用 | ||
PU-77 | 0.42 | 2 | 85 | 78A | 氧化鈰 | 韌性好，耐磨 | 蓋板玻璃、LCD基板 | ||
PU-80 | 0.49 | 1.5 | 90 | 81A | 氧化鈰 | 硬度稍高，平面度好 | 玻璃、精密光學(xué) | ||
PU-85 | 0.55 | 1.2 | 87 | 86A | 氧化鋯 | 切削力強，針對硬性材質(zhì) | 透鏡，石英玻璃 | ||
PU-40D | 0.5 | 1.2 | 75 | 40D | NA | 耐強堿，拋光速率高 | 藍寶石窗口片 | ||
PU-70D | 1.1 | 1 | 85 | 70D | NA | 超硬材質(zhì)，搭配鉆石液 | 陶瓷、金屬研磨減薄 | ||
無紡布拋光墊
無紡布拋光墊是一款毛氈狀的拋光墊，能磨出一定程度的平坦性和平滑性，性能處于聚氨酯拋光墊和阻尼布拋光墊的中間位置。
通常被使用于粗磨或中磨。
應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體晶圓，藍寶石，光學(xué)鏡片，金屬等材料CMP。
定制服務(wù)：
硬度、尺寸、溝槽等可按需求定制。
通常被使用于粗磨或中磨。
應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體晶圓，藍寶石，光學(xué)鏡片，金屬等材料CMP。
定制服務(wù)：
硬度、尺寸、溝槽等可按需求定制。
無紡布拋光墊 | ||||||
型號 | 密度g/cm3 | 壓縮率% | 壓縮彈性率% | 硬度邵氏A | 性能特點 | 應(yīng)用 |
NW-70 | 0.36 | 4-5 | 90 | 72A | 耐磨不拉絲，壽命長 | 金屬、不銹鋼精拋 |
NW-75 | 0.37 | 4-5 | 80 | 76A | 軟性材質(zhì)，貼合性好 | 藍寶石襯底搭配氧化硅 |
NW-80 | 0.37 | 3-4 | 80 | 80A | 搭配氧化硅，表面質(zhì)量高 | 硅片、砷化鎵襯底 |
NW-90 | 0.45 | 2-3 | 70 | 90A | 搭配氧化鋁，拋光速率高 | 藍寶石、碳化硅襯底 |
阻尼布拋光墊
阻尼布拋光墊是一種絲絨狀的拋光材料，質(zhì)地細膩、表面柔軟、且布滿小孔，使用時能很好地容納拋光液，提高切削力的同時能避免劃傷工件。
通常被使用于高平滑性，低欠陷性的精磨工序。
應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體晶圓，LED玻璃主板，藍寶石玻璃、金屬等的精拋。
定制服務(wù)：
硬度、尺寸、溝槽等可按需求定制。
阻尼布拋光墊 | ||||||
型號 | 密度g/cm3 | 壓縮率% | 壓縮彈性率% | 硬度邵氏A | 性能特點 | 應(yīng)用 |
DPP-70 | 0.55 | 4-5 | 75 | 72A | PET基材，高平整度 | 不銹鋼精拋 |
DPN-55 | 0.34 | 7-8 | 80 | 56A | 無紡布基材，通用型 | 光學(xué)，LCD精拋 |
DPN-60 | 0.34 | 7-8 | 70 | 60A | 長絨毛拋光層 | 半導(dǎo)體襯底精拋 |
DPN-65 | 0.46 | 3-4 | 85 | 67A | 高硬度絨毛 | 藍玻璃精拋 |